真空熱處理爐主要依靠輻射傳熱,工作條件較好,但高溫下易揮發(fā),防止真空放電(低于100V)。鎳鉻和鐵鉻鋁合金在真空中只能用于較低溫度和中度真空范圍,般使用電壓為220V和380V。鉬、鉭、鎢在真空中加熱容易揮發(fā),相應的使用溫度降低,般使用電壓為10--60V。硅碳棒真空中使用溫度為1400℃,使用電壓為220V和380V ,硅鉬棒真空中1300℃發(fā)生軟化,般使用電壓為10--60V。
需要注意的是:采用油擴散泵(或增壓泵)的真空系統,工作時(shí)先開(kāi)動(dòng)旋轉泵預抽真空,當達到擴散泵或增壓泵 大反壓強時(shí),油擴散泵才能投入工作。采用旋轉泵、油擴散泵和增壓泵組成的真空系統時(shí),工作時(shí)先用旋轉泵預抽真空,再用增壓泵抽中真空,當大部分氣體去除后,擴散泵再投人工作。
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真空爐工作原理與操作規程